TY  - BOOK
AU  - Зацепин, Д. А.
AU  - Вайнштейн, И. А.
AU  - Чолах, С.О.
TI  - Ионная модификация функциональных материалов
SN  - 9785321023594
PY  - 2014///
CY  - Екатеринбург
PB  - Уральский федеральный ун-т
KW  - Полупроводники
KW  - Ионная имплантация
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\66486018
KW  - З843.308я73-1
N2  - Библиогр.: с. 92-95
ER  -