TY  - BOOK
AU  - Силаков, М. В.
AU  - Бабушкин, В. А.
AU  - Валиев, К. А.
TI  - Расчет тормозного излучения в электронной литографии, его влияние на работу МОП-транзисторов и оценка вклада тормозного излучения в поглощенную энергию в резисте
T2  - Препринт
VL  - N 25
PY  - 2003///
CY  - М.
PB  - МАКС Пресс
KW  - МОП-приборы
KW  - Производство
KW  - Применение электронной литографии
KW  - nlr-sh1
KW  - RU\NLR\auth\661386155
KW  - Электронные процессы
KW  - nlr-sh2
KW  - RU\NLR\auth\66720079
KW  - Резисты
KW  - Физические свойства
KW  - Влияние тормозного рентгеновского излучения
KW  - RU\NLR\auth\661386158
KW  - З852.39-06
KW  - З844.15-040.7-01
N2  - Библиогр.: с. 37-40 (34 назв.)
ER  -