TY  - BOOK
AU  - Гаврилов, С. А.
AU  - Белов, А. Н.
TI  - Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники
T2  - Высшее образование - бакалавриат
SN  - 978-5-369-01299-4
PY  - 2013///
PY  - 2014///)
CY  - Москва
PB  - РИОР, ИНФРА-М
KW  - Микротехнология
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661410278
KW  - Нанотехнологии
KW  - RU\NLR\AUTH\66830353
KW  - 621.38:544.6(075.8)
KW  - З844.1-06я73-1
N2  - Библиогр.: 235-236 (26 назв.); Библиогр.: с. 235-236
ER  -