TY  - BOOK
TI  - Базовые технологические процессы микросистемной техники
SN  - 9785703837290
PY  - 2013///
KW  - Электронные приборы
KW  - Производство
KW  - Физико-химические основы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661196711
KW  - З85-06я73-1
N2  - Библиогр.: с. 63
ER  -