TY  - BOOK
AU  - Турек, М.
AU  - Дроздзель, А.
AU  - Пышняк, К.
TI  - Исследование явления термической десорбции He из образцов дефектного кремния
T2  - Сообщения Объединенного инcтитута ядерных исследований
VL  - P13-2015-31
PY  - 2015///
CY  - Дубна
PB  - Издательский отдел Объединенного института ядерных исследований
KW  - Кремний
KW  - Ионная имплантация
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661327201
KW  - 539.2/6
KW  - З843.322.408
N2  - Библиогр. в конце кн. (21 назв.)
ER  -