TY  - BOOK
AU  - Мохов, Е. Н.
TI  - Примеси и собственные дефекты в карбиде кремния в связи с условиями роста, легирования и релаксационного отжига
PY  - 1998///
CY  - СПб.
KW  - Физико-математические науки - Физика. Астрономия -
KW  - 01.04.10
KW  - oksvnk
N2  - Библиогр.: с. 40 - 47 (146 назв.)
ER  -