TY  - BOOK
ED  - "Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014", всероссийская научно-техническая конференция
TI  - Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем - 2014
PY  - 2014///
CY  - Москва
PB  - Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем проектирования в микроэлектронике
KW  - Микроэлектроника
KW  - Съезды, совещания и т.п
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661267605
KW  - Наноэлектроника
KW  - RU\NLR\AUTH\661468617
KW  - З844.1я431(2)
ER  -