TY  - BOOK
AU  - Мокров, Е. А.
AU  - Волохов, И. В.
AU  - Герасимов, О. Н.
AU  - Крысин, Ю. М.
TI  - Проектирование датчиков на основе тонкопленочных технологий
PY  - 2007///
CY  - Пенза
PB  - ИИЦ ПГУ
KW  - Датчики давления
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Проектирование
KW  - RU\NLR\auth\661471289
KW  - З323-503-02я73-1
N2  - Библиогр.: с. 76-79 (53 назв.)
ER  -