TY  - BOOK
AU  - Антонов, В. А.
TI  - Методы исследования поверхности полупроводниковых материалов
SN  - 9785704617785
PY  - 2017///
CY  - Москва
PB  - Изд-во МЭИ
KW  - Полупроводники
KW  - Поверхностные явления
KW  - Спектроскопия
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\66891068
KW  - З234.06-1с.я73-1
KW  - rubbk
KW  - З843.306.3я73-1
N2  - Библиогр.: с. 38
ER  -