TY  - BOOK
AU  - Мустафаев, Г. А.
AU  - Черкесова, Н. В.
TI  - Трехмерные интегральные схемы
PY  - 2016///
CY  - Нальчик
PB  - Изд-во КБГУ
KW  - Сверхбольшие интегральные схемы
KW  - Подложки кремниевые
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661473421
KW  - Интегральные схемы на КНИ-структурах
KW  - RU\NLR\AUTH\6601612557
KW  - Интегральные схемы на КНС-структурах
KW  - RU\NLR\AUTH\6601612559
KW  - З844.15-04я73-1
N2  - Библиогр.: с. 86-87 (28 назв.)
ER  -