TY - BOOK AU - Клюбин, В. В. TI - Физические основы микроэлектроники PY - 2000/// CY - СПб. PB - СПбГМТУ KW - Микроэлектроника KW - Физические основы KW - Руководства, пособия и т.п. для высшей школы KW - nlr-sh1 KW - RU\NLR\auth\661291883 KW - Учебные издания для высшей школы KW - nlr-sh2 KW - З844.1-01я73-1 ER -