TY - BOOK ED - Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума ED - Российская Федерация TI - Государственная система обеспечения единства измерений T2 - Национальный стандарт Российской Федерации PY - 2016/// CY - Москва PB - Стандартинформ KW - Поверхностные слои KW - Спектроскопические исследования KW - Стандарты KW - nlr_sh1 KW - nlr_sh2 KW - RU\NLR\AUTH\66867247 KW - 543.428.2:006.354 KW - 71.040.40 KW - 2000 KW - oks KW - Г581я861 KW - В365.31я861 KW - В371.25я861 N2 - Библиогр. в конце текста (6 назв.) ER -