TY - BOOK TI - [Электронно-физическая секция SN - 978-5-7782-3616-5 KW - Электроника твердотельная KW - Съезды, совещания и т.п KW - nlr_sh1 KW - nlr_sh2 KW - RU\NLR\AUTH\661081854 KW - Вакуумная техника KW - RU\NLR\AUTH\661338340 KW - Плазменная электроника KW - RU\NLR\AUTH\661370266 KW - З844.1я431(0) KW - З77я431(0) KW - З851.2я431(0) N2 - Библиогр. в конце ст ER -