TY  - BOOK
AU  - Семенов, А. А.
ED  - Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет
TI  - Анализ технологических режимов ионно-плазменного распыления в технологии устройств электроники и радиофотоники
SN  - 978-5-7629-2340-8
PY  - 2018///
CY  - Санкт-Петербург
PB  - ЛЭТИ
KW  - Тонкие пленки
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Ионно-плазменная обработка
KW  - RU\NLR\AUTH\661513973
KW  - Газоразрядная плазма
KW  - RU\NLR\AUTH\661569094
KW  - З844.13-06я73-1
KW  - В333.3я73-1
N2  - Библиогр.: с. 35 (14 назв.)
ER  -