TY  - BOOK
ED  - International Baltic conference on atomic layer deposition
TI  - 14th International Baltic conference on atomic layer deposition
SN  - 978-5-9651-0997-5
PY  - 2016///
CY  - St. Petersburg
PB  - [s. n.]
KW  - Тонкие пленки
KW  - Осаждение
KW  - Тезисы докладов
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661359283
KW  - Поверхностные слои
KW  - RU\NLR\AUTH\6668380
KW  - З844.13-060.7я431(0)
KW  - Г581я431(0)
N2  - Библиогр. в конце ст; Авт. указ. в конце кн
ER  -