TY  - BOOK
AU  - Баринов, И. Н.
AU  - Торгашин, С. И.
AU  - Цыпин, Б. В.
AU  - Волков, В. С.
TI  - Датчики давления. Технология изготовления полупроводниковых чувствительных элементов
SN  - 9785906855657
PY  - 2016///
CY  - Пенза
PB  - Изд-во ПГУ
KW  - Датчики давления полупроводниковые
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Производство
KW  - Технологическое проектирование
KW  - RU\NLR\AUTH\661410592
KW  - З323-503-02я73-1
N2  - Библиогр.: с. 119120 (23 назв.)
ER  -