TY  - BOOK
AU  - Makarov, J. N.
AU  - Zmakin, A. I.
TI  - Simulation of flow and deposition in vertical MoVPE reactors
T2  - Preprint
VL  - 1248
PY  - 1988///
CY  - L.
PB  - ФТИ
KW  - Полупроводниковые пленки
KW  - Осаждение из газовой фазы
KW  - nlr_sh1
KW  - RU\NLR\AUTH\661522756
KW  - Санкт-Петербург
KW  - З843.324.410.8
KW  - rubbk
N2  - Библиогр.: с. 58-59
ER  -