TY  - BOOK
AU  - Latyšev, A. V.
AU  - Fedina, L.I.
AU  - Rogilo, D.I.
TI  - Atomically controlled silicon surface
SN  - 978-5-98901-188-9
PY  - 2016///
CY  - Novosibirsk
PB  - Parallel
KW  - Кремний
KW  - Поверхностные явления
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\66588146
KW  - В379.225с1,0
KW  - rubbk
KW  - З843.322.406.3-1
N2  - Библиогр. в конце гл
ER  -