TY  - BOOK
AU  - Марков, В. Ф.
AU  - Маскаева, Л. Н.
TI  - Технология тонкопленочных твердотельных сенсоров
SN  - 978-5-7996-2769-0
PY  - 2019///
CY  - Екатеринбург
PB  - Изд-во Уральского университета
KW  - Фотоэлементы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661142858
KW  - Тонкие пленки
KW  - Получение из растворов
KW  - RU\NLR\AUTH\661360481
KW  - Химические сенсоры тонкопленочные
KW  - RU\NLR\AUTH\661321640
KW  - З854я73-1
KW  - Г576.3я73-1
KW  - З844.13-06я73-1
N2  - Библиогр.: с. 144-146 (21 назв.)
ER  -