TY  - BOOK
AU  - Багаева, Т. И.
ED  - СССР
TI  - Прецизионная фотолитография
PY  - 1986///
CY  - Москва
PB  - ЦНИИ "Электроника"
KW  - Интегральные схемы
KW  - Производство
KW  - Фотолитографический метод
KW  - Учебные издания
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661327006
KW  - З844.15-06я75
N2  - Библиогр.: с. 163
ER  -