TY  - BOOK
AU  - Данилина, Т. И.
AU  - Кагадей, В. А.
AU  - Анищенко, Е. В.
TI  - Технология кремниевой наноэлектроники
SN  - 9785868897139
PY  - 2015///
CY  - Томск
PB  - ТУСУР
KW  - Интегральные схемы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Производство
KW  - RU\NLR\AUTH\66186470
KW  - Кремний
KW  - Наноструктуры
KW  - RU\NLR\AUTH\661575612
KW  - 621.38
KW  - З843.322.4я73-1
KW  - З844.15-06я73-1
N2  - Библиогр.: с. 317-318 (23 назв.)
ER  -