TY  - BOOK
AU  - Андреев, В. В.
AU  - Барышев, В. Г.
AU  - Столяров, А. А.
TI  - Инжекционные методы исследования и контроля структур металл-диэлектрик-полупроводник
SN  - 5-7038-2187-8
PY  - 2004///
CY  - М.
PB  - Изд-во МГТУ
KW  - Металл-диэлектрик-полупроводник, система
KW  - nlr_sh1
KW  - RU\NLR\auth\661366113
KW  - МДП-структуры
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661343423
KW  - Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Материалы -- Исследование, контроль -- Физические методы
KW  - Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела -- Физика полупроводников и диэлектриков -- Физика полупроводников -- Электрические и магнитные свойства полупроводников -- Электрические свойства. Электронные явления -- Электропроводность -- Туннельный эффект
KW  - З844.15-03-1с3,0
KW  - rubbk
KW  - В379.271.25,0
KW  - З852.39
N2  - Библиогр.: с. 234-252 (254 назв.)
ER  -