TY  - BOOK
AU  - Korobova, N. E.
AU  - Boev, L. R.
TI  - Micro- electro-mechanical system
SN  - 978-5-7256-0923-3
PY  - 2019///
CY  - Moscow
PB  - MIET
KW  - Микроэлектромеханические системы
KW  - Учебные издания
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661573435
KW  - З26я7
KW  - З291я7
N2  - Библиогр.: с. 154
ER  -