TY  - BOOK
AU  - Биленко, Д. И.
AU  - Вениг, С. Б.
AU  - Терин, Д. В.
ED  - Саратовский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского
TI  - Многопараметровая диагностика микро- и наноструктур
T2  - Материаловедение и технология новых материалов
SN  - 9785292043508
PY  - 2015///
CY  - Саратов
PB  - Изд-во Саратовского университета
KW  - Наноструктуры
KW  - Техническая диагностика
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661292844
KW  - Тонкие пленки
KW  - RU\NLR\AUTH\661272078
KW  - 621.38
KW  - З844.1-082.051
N2  - Библиогр.: с. 129-131
ER  -