TY - BOOK AU - Козловский, В. В. ED - Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого TI - Модификация свойств полупроводников облучением легкими ионами SN - 9785742265320 PY - 2018/// CY - Санкт-Петербург PB - Политех-пресс, Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого KW - Полупроводники KW - Радиационные дефекты KW - Учебные издания для высших учебных заведений KW - nlr_sh2 KW - RU\NLR\AUTH\66872626 KW - В379.212.2я73-1 N2 - Библиогр.: с. 110-113 (54 назв.) ER -