TY  - BOOK
AU  - Васильев, В. Ю.
TI  - Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники
SN  - 9785778239159
PY  - 2019///
CY  - Новосибирск
PB  - Изд-во НГТУ
KW  - Тонкие пленки
KW  - Осаждение из газовой фазы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661129986
KW  - З844.13-060.7я73-1
KW  - З843.08я73-1
N2  - Библиогр.: с. 99-103 и в конце гл
ER  -