@book{1196022,
	author = {Тимошенкова, С. П.},
	title = {Элементы микросистемной техники, оборудование и технология их производства},
	publisher = {Московский государственный институт электронной техники},
	year = {2007},
	series = {Приоритетные национальные проекты},
	address = {Москва}
}