01690nam0a2200313 4500 RU\NLR\bibl\1116982 20260407102050.0 978-5-7256-0450-4 60 RU 2007-44407 2372 (NLR Aleph) 001103982 1196022 1196022 20070813d2007 |||y0rusy50 ca rus RU a ||||||||| Элементы микросистемной техники, оборудование и технология их производства сборник научных трудов М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. агентство по образованию, Моск. гос. ин-т электр. техники (техн. ун-т) под ред. д.т.н., проф. С.П. Тимошенкова Москва Московский государственный институт электронной техники 2007 144 с. ил. 21 Приоритетные национальные проекты Образование Библиогр. в конце ст. Микросистемная техника Сборники Производство 2483222 RU\NLR\auth\661473947 З844.1-06я43 Тимошенкова С. П. 340 570 Московский государственный институт электронной техники 355333 RU\NLR\AUTH\889929878 RU NLR 20070813 RCR RU NLR 20070813 BOOK NB 2007-08-13 ad NLR01 NLR01 RF9 1-2121053 2007-3/22565 0 BOOK 2007322565_ 2007-08-13 ad NLR01 NLR01 RF9 2486671 2007-3/22565 0 BOOK 2007322565_