TY  - BOOK
AU  - Тимошенкова, С. П.
ED  - Московский государственный институт электронной техники
TI  - Элементы микросистемной техники, оборудование и технология их производства
T2  - Приоритетные национальные проекты
SN  - 978-5-7256-0450-4
PY  - 2007///
CY  - Москва
PB  - Московский государственный институт электронной техники
KW  - Микросистемная техника
KW  - Сборники
KW  - Производство
KW  - RU\NLR\auth\661473947
KW  - З844.1-06я43
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -