TY  - BOOK
AU  - Громов, Д. Г.
AU  - Мочалов, А. И.
TI  - Материалы и процессы формирования систем металлизации кремниевых интегральных схем
SN  - 5-7256-0410-1
PY  - 2006///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Интегральные схемы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Металлизация
KW  - RU\NLR\auth\661473414
KW  - Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Большие и сверхбольшие интегральные схемы -- Технология производства -- Нанесение покрытий -- Выбор технологического варианта
KW  - З844.152-060.7-642,0
KW  - rubbk
KW  - З844.15-060.7я73-1
N2  - Библиогр.: с. 166-176 (159 назв.)
ER  -