TY - BOOK ED - International conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices TI - 18th International conference of young specialists on micro/nanotechnologies and electron devices, Erlagol, Altai Republic, 29 June - 3 July, 2017 SN - 978-1-5090-6686-5 PY - 2017/// CY - Novosibirsk PB - Novosibirsk state technical university KW - Микроэлектроника KW - Съезды, совещания и т.п KW - RU\NLR\AUTH\661267605 KW - Нанотехнологии KW - RU\NLR\AUTH\66830353 KW - Электронные приборы KW - RU\NLR\AUTH\664069 KW - З844.19я431(0) KW - rubbk KW - З844.1я431 KW - З85я431 N2 - Библиогр. в конце ст; Указ. в конце кн ER -