TY - BOOK AU - Белянин, А. Ф. ED - "Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники)", международная научно-техническая конференция ED - "Тонкие пленки в электронике", международный симпозиум ED - "Наноинженерия", международная научно-техническая конференция TI - Сборник научных трудов XXI международной научно-технической конференции "Высокие технологии в промышленности России" (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники), XXVIII международного симпозиума "Тонкие пленки в электронике", VIII международной научно-технической конференции "Наноинженерия" SN - 9785703845523 PY - 2016/// CY - Москва PB - МГТУ KW - Электронные приборы KW - Съезды, совещания и т.п KW - nlr_sh1 KW - nlr_sh2 KW - RU\NLR\AUTH\664069 KW - Тонкие пленки KW - RU\NLR\AUTH\6629231 KW - Радиотехнические материалы KW - RU\NLR\AUTH\66331143 KW - З843.3я431(0) KW - З85я431(0) KW - З844.13я431(0) N2 - Библиогр. в конце ст ER -