TY  - BOOK
AU  - Евгеньев, С. Б.
TI  - Физико-химические основы технологии микроэлектроники
PY  - 2008///
CY  - Москва
PB  - Московская государственная академия тонкой химической технологии
KW  - Радиоэлектронная аппаратура миниатюрная
KW  - Производство
KW  - Физико-химические основы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661469624
KW  - З844.1-06я73-1
ER  -