TY  - BOOK
ED  - "Atomic layer deposition: Russia 2017", international workshop
ED  - Saint-Petersburg state institute of technology
TI  - Atomic layer deposition: Russia 2017 (ALD Russia - 2017)
PY  - 2017///
CY  - Saint-Petersburg
PB  - SPSIT
KW  - Алесковский
KW  - Тонкие пленки
KW  - Осаждение
KW  - Тезисы докладов
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661359283
KW  - Поверхностные слои
KW  - RU\NLR\AUTH\6668380
KW  - З844.13-060.7я431(0)
KW  - Г581я431(0)
N2  - Библиогр. в конце ст; Указ.: с. 70-71
ER  -