TY  - BOOK
AU  - Головяшкин, А. Н.
TI  - Вакуумное оборудование напыления тонких пленок
SN  - 978-5-907456-21-1
PY  - 2021///
CY  - Пенза
PB  - Изд-во ПГУ
KW  - Тонкие пленки
KW  - Нанесение распылением в вакууме
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\6601764606
KW  - 621.384(075.8)
KW  - 4
KW  - 32.86я73
KW  - rubbks
KW  - З844.13-060.7я73-1
N2  - Библиогр. в конце кн. (5 назв.)
ER  -