TY  - BOOK
AU  - Головяшкин, А. Н.
TI  - Тонкоплёночная электроника
SN  - 978-5-907600-05-8
PY  - 2022///
CY  - Пенза
PB  - Изд-во ПГУ
KW  - Интегральные схемы пленочные
KW  - Учебники для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661437752
KW  - Микроэлектроника
KW  - RU\NLR\AUTH\661267605
KW  - З844.1я73-1
N2  - Библиогр.: с. 256 (12 назв.)
ER  -