TY  - BOOK
AU  - Золотухин, Д. Б.
AU  - Климов, А. С.
AU  - Тюньков, А. В.
ED  - Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
TI  - Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий
T2  - Серия Учебное издание ТУСУРа
SN  - 9785868898914
PY  - 2020///
CY  - Томск
PB  - Изд-во ТУСУРа
KW  - Материалы
KW  - Ионная обработка
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661433875
KW  - Электронные приборы
KW  - Производство
KW  - Ионно-плазменный метод
KW  - RU\NLR\AUTH\661339246
KW  - Электронно-лучевые методы
KW  - RU\NLR\AUTH\661327362
KW  - Плазменная обработка
KW  - RU\NLR\AUTH\661303011
KW  - Электронно-лучевая обработка
KW  - RU\NLR\AUTH\661312571
KW  - Ж614я73-1
KW  - З85-06я73-1
N2  - Библиогр.: с. 162-169 (85 назв.)
ER  -