TY  - BOOK
AU  - Пышняк, К.
AU  - Турек, М.
AU  - Дроздзель, А.
TI  - Установка для исследования процессов ионного распыления под влиянием пучков ионов средних энергий
T2  - Препринт
VL  - Р-13-2008-145
PY  - 2008///
CY  - Дубна
PB  - Издательский отдел Объединенного института ядерных исследований
KW  - Полупроводниковые приборы
KW  - Производство
KW  - Оборудование
KW  - RU\NLR\auth\66876845
KW  - З852-06-5
N2  - Библиогр. в конце кн. (5 назв.)
ER  -