TY  - BOOK
ED  - "Газоразрядная плазма и синтез наноструктур", международная конференция
TI  - III Международная конференция "Газоразрядная плазма и синтез наноструктур"
SN  - 978-5-907665-16-3
PY  - 2022///
CY  - Казань
PB  - Бук
KW  - Газоразрядная плазма
KW  - Съезды, совещания и т.п
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661569094
KW  - Наноструктуры
KW  - Синтез
KW  - nlr_sh1
KW  - RU\NLR\AUTH\661380066
KW  - Нанотехнологии
KW  - RU\NLR\AUTH\66830353
KW  - [533.9
KW  - 4
KW  - 620.22-022.53](082)
KW  - 22.333я43
KW  - rubbks
KW  - 30.36я43
KW  - В333.3я431(0)
KW  - Г523я431(0)
KW  - З844.1я431(0)
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -