@book{12504135,
	author = {"Микроэлектроника-2020", международный форум and "Электронная компонентная база и микроэлектронные модули", международная научная конференция},
	title = {Международный форум "Микроэлектроника-2020", ч. 2. 6-я Международная конференция "Электронная компонентная база и микроэлектронные модули", Республика Крым, г. Ялта, 28 сентября - 3 октября 2020 г.},
	year = {2020},
	address = {Б. м.}
}