TY  - BOOK
AU  - Данилина, Т. И.
AU  - Чистоедова, И. А.
TI  - Современные технологии микро- и наноэлектроники
T2  - Серия Учебное издание ТУСУРа
SN  - 9785868899034
PY  - 2020///
CY  - Томск
PB  - Изд-во ТУСУРа
KW  - Сверхбольшие интегральные схемы
KW  - Производство
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh1
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\AUTH\661417037
KW  - Полевые транзисторы наноэлектронные трехмерные
KW  - RU\NLR\AUTH\6601695935
KW  - З844.15-06я73-1
KW  - З852.39-06я73-1
N2  - Библиогр.: с. 334-337 (47 назв.)
ER  -