TY  - BOOK
AU  - Вольпяс, В. А.
AU  - Тумаркин, А. В.
TI  - Физические основы электронно-ионной технологии
SN  - 5-7629-0604-3
PY  - 2004///
CY  - Санкт-Петербург
PB  - ЛЭТИ
KW  - Интегральные схемы
KW  - Руководства, пособия и т.п. для высшей школы
KW  - Производство
KW  - Электронно-ионная технология
KW  - RU\NLR\auth\661422989
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - З844.15-06я73-2
N2  - Библиогр. в конце кн. (6 назв.)
ER  -