TY - BOOK AU - Kudrja, V. P. AU - Lukičev, V. F. ED - "Micro- and nanoelectronics - 2023", international conference ED - "Quantum informatics", extended session TI - Proceedings of the International conference "Micro-and nanoelectronics-2023", ICMNE-2023, October 2-6, 2023, Moscow - Zvenigorod, Russia SN - 978-5-317-07055-7 PY - 2023/// CY - Moscow PB - MAKS PRESS KW - Микроэлектроника KW - Тезисы докладов KW - nlr_sh1 KW - nlr_sh2 KW - RU\NLR\AUTH\661267605 KW - Наноэлектроника KW - RU\NLR\AUTH\661468617 KW - Квантовая информатика KW - RU\NLR\AUTH\661457881 KW - 621.38-022.53(082) KW - 4 KW - 32.85я43 KW - rubbks KW - З844.1я431(0) KW - З973.233я431(0) KW - В314я431(0) N2 - Библиогр. в конце ст; Указ. в конце кн ER -