TY  - BOOK
AU  - Джексон, К. А.
TI  - Энциклопедия технологии полупроводниковых материалов
PY  - 2004///
CY  - Воронеж
PB  - Водолей
KW  - Полупроводники
KW  - Производство
KW  - RU\NLR\auth\66289574
KW  - З843.308
ER  -