TY  - BOOK
AU  - Vit'ko, V. V.
AU  - Semenov, A. A.
AU  - Beljavskij, P. J.
TI  - Processes of micro-and nanotechnology
SN  - 978-5-7629-2816-8
PY  - 2021///
CY  - Санкт-Петербург
PB  - Издательство СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
KW  - Тонкие пленки
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - Осаждение из плазмы
KW  - RU\NLR\AUTH\66891033
KW  - Нанесение распылением
KW  - RU\NLR\AUTH\661264882
KW  - нанесение пленочных покрытий
KW  - фотолитография
KW  - микропрофилирование многокомпанентных материалов
KW  - 811.111(075.8)
KW  - 4
KW  - З844.1-06я73-1
KW  - rubbk
KW  - З844.13-060.7я73-1
N2  - "List of the recommended lit.": с. 83; Авт. указаны на обороте тит. с
ER  -