20240201d2023 k y0rusy50 cacreator"Вакуумная техника и технологии - 2023", всероссийская научно-техническая конференция с международным участием30Санкт-Петербургtextmonographic Технологические процессы инновационные Съезды, совещания и т.п 2105813 RU\NLR\AUTH\661576729 Вакуумная техника Съезды, совещания и т.п 2229695 RU\NLR\AUTH\661338340 30th All-Russian conference with international participation "Vacuum technique and technology - 2023", June 20-22, 2023, St. Petersburg978-5-7629-3204-220240213140211.0RU\NLR\BIBL_A\022123564