TY  - BOOK
ED  - "Вакуумная техника и технологии - 2023", всероссийская научно-техническая конференция с международным участием
TI  - Труды 30-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием "Вакуумная техника и технологии - 2023", 20-22 июня 2023, Санкт-Петербург
SN  - 978-5-7629-3204-2
PY  - 2023///
CY  - Санкт-Петербург
PB  - Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
KW  - Технологические процессы инновационные
KW  - Съезды, совещания и т.п
KW  - RU\NLR\AUTH\661576729
KW  - Вакуумная техника
KW  - RU\NLR\AUTH\661338340
KW  - 621.52(082)
KW  - 4
KW  - Ж6я431(2)
KW  - З77я431(2)
N2  - Библиогр. в конце ст
ER  -