TY  - BOOK
AU  - Андреев, В. В.
AU  - Жалнин, В.П.
AU  - Столяров, А. А.
TI  - Физические основы микро- и наноэлектроники
T2  - Библиотека "Приборостроение"
VL  - т. 3
SN  - 978-5-7038-6098-4
PY  - 2023///
CY  - Москва
PB  - Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана
KW  - Микроэлектроника
KW  - Физические основы
KW  - Учебные издания для высших учебных заведений
KW  - nlr_sh2
KW  - RU\NLR\auth\661291883
KW  - Наноэлектроника
KW  - RU\NLR\auth\661501456
KW  - З844.1-01я73-1
N2  - Библиогр.: с. 285-288
ER  -