TY - BOOK AU - Васильев, А. В. AU - Баранов, А. И. TI - Дефектно-примесные реакции в полупроводниках SN - 5-7692-0428-1 PY - 2001/// CY - Новосибирск PB - Изд-во СО РАН KW - Кремний KW - Дефекты KW - RU\NLR\auth\661342202 KW - Примеси KW - RU\NLR\auth\66491721 KW - 537.311.322:548.4 KW - 3 KW - rus KW - 29.19 KW - rugasnti KW - 22.379 KW - rubbk KW - З843.322.404-1 N2 - Библиогр. в конце гл ER -