TY  - BOOK
TI  - Тематический блок: Фундаментальные проблемы многоуровневых систем металлизации ультрабольших интегральных схем
PY  - 2023///
CY  - Б. м.
KW  - Сверхбольшие интегральные схемы
KW  - Сборники
KW  - Металлизация
KW  - RU\NLR\AUTH\661473416
KW  - З844.15-060.7я43
ER  -